ソフトウェア保持技術
ビーム調整 ステージ制御 シミュレーション
カメラドライバ アプリケーション 工程管理、ソフト試験
CMPプロセスシミュレーション ダミーパターン自動発生
OPC 位相ソフトの自動配置 光学シミュレーション EPL 露光データ作成 遺伝的アルゴリズム 並列処理 画像処理(SEM画像) 既存レイアウトエディタへのプラグイン・カスタマイズ
プロトコル ブラウザ 言語解析(バース)